真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。设备的维护要有日常维护和定期维护1,日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象,就马上解决。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地
真空镀膜报价
真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。设备的维护要有日常维护和定期维护1,日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象,就马上解决。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,1好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
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真空镀膜系统
机械泵的目的是为了获得低真空,通过机械方法改变泵内吸气空腔的体积,使得被抽容器内的体积不断膨胀,从而获得粗真空,旋片式真空泵由转子、定子和旋片等结构构成,其中,定子在油箱中,油起到润滑的目的,挥发的油经由排气口排出,经过真空泵油雾过滤器过滤,油雾颗粒被过滤器,过滤后可实现再利用。镀膜工艺由多种不同的泵组合原因就是为了获得高真空,因此第二步就是油扩散泵,之所以要在油扩散泵前安装机械泵,是因为油扩散泵不能直接在大气压下工作,需要一定的预备真空度。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。油扩散泵获得真空的方法主要是油的蒸汽压与气体分子的反扩散,为了防止油扩散泵返油就需要使用的泵以及有效的冷阱,大型镀膜机使用更有效的高真空组合。
如何选择真空镀膜设备供应商
抽真空系统,目前基本是两种,一种是扩散泵系统,一种是分子泵系统,分子泵系统属于清洁抽气系统,没有扩散泵的返油现象,抽速也相对比较稳定,而且比较省电,电费的支出是镀膜企业生产运营成本中很大的一环。对于泵系统的定期维护是很重要的,特别是润滑油的定期更换,注意油号的选择,选择错误很容易损坏真空泵。在刀具、模具等金属切削加工工具方面在生活中,我们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些就是经过镀膜技术加工后的涂层工具。
是否需要配置低温捕集器PolyCold,低温捕集器可以说是一种锦上添花的设备,它能够大大提高抽气的速度,将真空室内的可凝性气体吸附在冷盘管上,净化真空室内的气氛,使膜层质量更好,在炎热潮湿的夏季,低温捕集器的使用无疑在很大程度上,提高了生产效率。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
冷却水循环系统,镀膜机需要配置冷却水循环系统,冷却水好使用去离子水,对于防腐蚀有很大的作用,特别是真空室的焊道,一些容易生锈的部件等都有很好的抑制作用,可以在去离子水中添加一些防腐剂,也可以防腐蚀。
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