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微波等离子清洗机在半导体去胶的应用

何为半导体去胶? 半导体加工工艺及其它薄膜加工工艺过程中,各类光刻胶的等离子去除,去除材料表面污染物,保证与其他材料的结合能力。微波等离子去胶机可以去除各类光刻胶。
微波等离子清洗机,半导体去胶


何为半导体去胶? 半导体加工工艺及其它薄膜加工工艺过程中,各类光刻胶的等离子去除,去除材料表面污染物,保证与其他材料的结合能力。晟鼎微波等离子去胶机可以去除各类光刻胶。 除胶之外,晟鼎微波等离子清洗机还有什么应用? ·FC封装微波等离子处理 ·金属键合前处 ·晶圆表面活化 技术壁垒高,危机和机遇并存 · 技术壁垒较高,美、日、韩形成垄断 · 绝大部分外购微波半导体等离子发生器 · 价格昂贵 · 交付周期超过半年 · 服务无法及时响应 晟鼎自主研发微波去胶机 掌控技术 · 国内自有自主研发微波去胶机; · 磁流体旋转架,保证处理效果均匀; · 微波无放电电极,效率好均匀,保证刻蚀率; · 低温等离子体,避免产生热损伤; · 自偏压要求低,微波结和磁路可以兼容。 技术+服务 实现国产替代 技术保障 自有微波半导体去胶发生器技术,并可提供双电源技术(MW+Bias RF)解决微波等离子清洗机客制化问题。 服务保障 · 研发实力 研发实力强的半导体研发团队,并拥有多位十五年以上半导体从业经验的工程师。 华南理工大学等离子技术联合实验室,多位博士生导师担任项目技术顾问; 四川大学半导体项目战略合作伙伴; ·客制化方案 多行业客制化方案经验;产品系列完整,可满足不同客制化需求。 ·全流程服务 晟鼎销售、技术、售后项目组全流程服务;有素的售后服务团队辐射。 · 价格有一定优势 降本30%以上,产品完全符合行业标准。








(作者:黄女士 来源:东莞市晟鼎精密仪器有限公司)


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