Edwards真空分子泵维修厂承诺守信 广东潽拓光电

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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修




爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。








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Edwards爱德华STP-H200C分子泵维修Seiko Seiki STP-200/STP-H200C/STP-H200C1日本精工精机分子泵进气法兰口VG100/ISO100/ICF152，出气法兰口KF25，抽速可达到270L/s，转速为48000rpm，VG/ISO法兰口极限压力10-7Pa(10-9Torr)，ICF法兰口极限压力10-8Pa(10-10Torr)。





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