如何测量真空镀膜机的厚度
理想的膜厚是基片表面与膜表面之间的距离。在薄膜形态的三维测量中,其他二维测量相对于薄膜厚度可以说是大的。由于实际表面是不均匀、不连续的,而且膜内部可能存在气孔、杂质、晶格缺陷、表面吸附分子等,实际上很难严格定义和准确测量膜的厚度。薄膜厚度的定义取决于寻址方法和寻址目的。因此,相同的薄膜,采用不同的测量方法会得到不同的结果,即不同的厚度。
电子纳米镀膜设备
如何测量真空镀膜机的厚度
理想的膜厚是基片表面与膜表面之间的距离。在薄膜形态的三维测量中,其他二维测量相对于薄膜厚度可以说是大的。由于实际表面是不均匀、不连续的,而且膜内部可能存在气孔、杂质、晶格缺陷、表面吸附分子等,实际上很难严格定义和准确测量膜的厚度。薄膜厚度的定义取决于寻址方法和寻址目的。因此,相同的薄膜,采用不同的测量方法会得到不同的结果,即不同的厚度。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
7、在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好真空室门,数分钟后,观察真空度是否6*10的0帕,否则要进行检漏,检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。
真空镀膜设备在使用的过程中,有时候会出现不良的情况,这时候就需要排查原因
查找镀膜产品不良原因时,先要看点子是发生在镀膜前,镀膜中,还是镀膜后的。 如果镀膜后,一般能擦掉或者洗掉。 如果是镀膜前,一般只需要改善清洗,或者开镀前离子风除下静电,或者开镀前离子源轰一下也能改善。 镀膜中流程细节比较多,比较复杂,具体情况具体分析,比如点子的颜色,形状,镀膜条件等等,我们都要具体去分析,针对性去解决。
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