溅射镀膜的基本原理:充(Ar)气的真空环境中溅射镀膜的基本原理：充(Ar)气的真空环境中，当(Ar)原子被电离，形成离子(Ar)时，离子在电场力的作用下，加速轰击用镀料制成的阴极靶，靶将溅射出来并沉积在工件表面。溅射膜中的入射离子，一般是通过辉光放电获得的，在l0-2Pa~10Pa范围内，因此溅射出的粒子在飞向基体时，容易与空气中的气体分子发生碰撞，使其运动方向随机，沉
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溅射镀膜的基本原理:充(Ar)气的真空环境中
溅射镀膜的基本原理：充(Ar)气的真空环境中，当(Ar)原子被电离，形成离子(Ar)时，离子在电场力的作用下，加速轰击用镀料制成的阴极靶，靶将溅射出来并沉积在工件表面。溅射膜中的入射离子，一般是通过辉光放电获得的，在l0-2Pa~10Pa范围内，因此溅射出的粒子在飞向基体时，容易与空气中的气体分子发生碰撞，使其运动方向随机，沉积的薄膜容易均匀。
Hunter工艺的步，如今所知，包括加热氯，焦炭和金红石的混合物，在非常高的温度下产生由（TiCl和二氧化碳组成的产物：TiO2（固体）+2Cl2（固体）+C（固体）→TiCl4+CO2（气体）第二步是在700-800摄氏度的耐高温钢外壳中用液态钠（Na）加热步骤中的。在这个称为“还原”的过程中，通过钠还原，得到99.9％纯金属钛以及盐（NaCl）
提取过程仍然没有人能够在18或19世纪分离出高纯度的钛样品。在接下来的几年里，这项壮举是由一些资源丰富的化学家实现的。1910年，新西兰化学家MatthewHunter对Nilsen和Pettersen于1887年开发的化学工艺进行了改进和改进，使用钠提取了99.9％具有延展性的纯金属钛。这使得钛可用于各种应用。
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