真空镀膜加工的科学蒸镀
在气态质迁移时,为了保证膜层的质量,一般都是在真空镀膜加工或惰性气氛中进行,并施加电场、磁场或高频等外界条件来进行活化,以增加到达基底上的气态物质的能量,提供气态物质发生反应的能量,即提供气态物质反应的能。
薄膜在基底上的形成过程是一个复杂的过程,它包括:膜的形核、长大,膜与基底表面的相互作用等等。近年来,薄膜制作时还在基底上施加电场、磁场、
玻璃真空镀膜厂
真空镀膜加工的科学蒸镀
在气态质迁移时,为了保证膜层的质量,一般都是在真空镀膜加工或惰性气氛中进行,并施加电场、磁场或高频等外界条件来进行活化,以增加到达基底上的气态物质的能量,提供气态物质发生反应的能量,即提供气态物质反应的能。
薄膜在基底上的形成过程是一个复杂的过程,它包括:膜的形核、长大,膜与基底表面的相互作用等等。近年来,薄膜制作时还在基底上施加电场、磁场、离子束轰击等辅助手段,其目的都是为了控制凝聚成膜的质量和性能。根据成膜方法的基本。
在真空蒸镀时,气态粒子是由放于蒸发源中的蒸发材料产生的,而蒸发源的加热可以采用电阻法、高频感应法、电子束轰击、激光蒸发或放电法等。图1-1是真空蒸镀设备和一些蒸发源的简图。该真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。
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