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扫描电镜景深长成像越立体当电子束照射到样品上,电子便会与样品发生多种反应。其中部分电子可以直接透过样品;部分电子被样品散射开来;另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来,并使它们成像,便可以构成不同类型的电子显微镜。其中,把样品表面反射回来的电子收集起来并成像,这种电子显微镜叫做扫描电子显微
扫描电镜型号
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扫描电镜景深长成像越立体
当电子束照射到样品上,电子便会与样品发生多种反应。其中部分电子可以直接透过样品;部分电子被样品散射开来;另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来,并使它们成像,便可以构成不同类型的电子显微镜。其中,把样品表面反射回来的电子收集起来并成像,这种电子显微镜叫做扫描电子显微镜。
扫描电镜的试样制备 扫描电镜一个突出的特点就是对样品的适应性很大,所有的固态样品,无论是块状的、粉末的、金属的、非金属的、有机的、无机的都可以观察。而且样品的制备比较简单,但仍需要一定的技术和要求,否则就不能达到满意的结果。一般的扫描电镜对样品的要求主要有:适当的大小和良好的导电性。扫描电镜景深长成像越立体。

二次电子是由于被入射电子“碰撞”而获得能量,逃出样品表面的核
二次电子是由于被入射电子“碰撞”而获得能量,逃出样品表面的核外电子,其主要特点是:
(1)能量小于50eV,较易被检测器前端的电场吸引,因而阴影效应较弱。
(2)只有样品表面很浅(约10nm)的部分激发出的二次电子才能逃出样品表面,因此二次电子像分辨率较高。
(3)二次电子的产额主要取决于样品表面局部斜率,因此二次电子像主要是形貌像。
可看成由许多不同倾斜程度的面构成的凸尖、台阶、凹坑等细节组成,这些细节的不同部位发射的二次电子数不同,从而产生衬度。
二次电子像分辨率高、无明显阴影效应、场深大、立体感强,是扫描电镜的主要成像方式,特别适用于粗糙样品表面的形貌观察。

真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射或六硼化镧及六硼化的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。
需要真空的原因包括:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。

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