干式螺杆真空泵是立式结构，进气口在上方，排气口在中部，下部为电机和润滑油池。螺杆转子呈中空形，为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接，该泵的气体路径较短，且立式结构对排除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却，泵维修也便利。干式螺杆真空泵选用适当的较简单螺杆牙型截面，那么它的优势是则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平
三木森节能真空泵优势
干式螺杆真空泵是立式结构，进气口在上方，排气口在中部，下部为电机和润滑油池。螺杆转子呈中空形，为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接，该泵的气体路径较短，且立式结构对排除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却，泵维修也便利。干式螺杆真空泵选用适当的较简单螺杆牙型截面，那么它的优势是则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。根据其工作原理，我们可以可以明确地认识到，干式螺杆真空泵是一种极限真空度高、消耗功率比较低、节能、免维修等优点。
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螺杆真空泵在空间模拟方面的应用
由于空间模拟装置其被抽容器的容积从几千立方米到几万立方米，真空度变化从几万Pa 到几个Pa，而且被抽气体中含有大量的水蒸气或部分氮氧化物，所以这种真空系统首先遇到问题就是预抽真空问题，如果选用传统的滑阀泵作前级泵则存在下列问题：
首先是滑阀泵在高入口压力下长时间运行，由于气流携带作用，其喷油现象十分严重，一是浪费大量昂贵的油，二是污染环境;
由于被抽气体中含有大量的水蒸气或氮氧化物，这些气体一旦进入泵内会使真空泵油迅速乳化变质，油的密封性破坏，导致真空性能下降，甚至使泵毁坏;
需要配置泵的数量多，而且滑阀泵的振动、噪声也大;
螺杆式真空泵的结构
螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向运转，周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
它的主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。螺杆转子经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵腔中，螺杆与螺杆之间维持严格一定的间隙。泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，腔内无需润滑油。因此，螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空高，消耗功率低，具有节能，免维修等优点。
螺杆式真空泵不仅适应性广泛，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。因此，随着半导体、石化行业的发展，螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。
虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵，但从长远来说，其宽适应、环保的特性以及低故障维修率，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益，使用的更加广泛性必是未来的趋势。
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