洁净室检测对不同的对象，有不同的控制要求
⑴空气中悬浮微粒（非生物性及生物性）
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质：高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
洁净技术内容涉及：
⑴洁净室检测技术（工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室）：包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以
洁净工作台检测标准
洁净室检测对不同的对象，有不同的控制要求
⑴空气中悬浮微粒（非生物性及生物性）
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质：高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
洁净技术内容涉及：
⑴洁净室检测技术（工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室）：包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以及消除静电和防微振。
⑵高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品的制取、输送及纯化。
⑶有关玷污物的检测及监测。
洁净室检测地板导电检测
一、测试介绍，导电度可视为电流流经或绕过某物体之容易程度 (relative ease) ，电阻的倒数即导电度
二.、测量目的测量，板上点与点之间 (Floor Point to Point) 的电阻，和地板与大地间(Floor to Ground) 的电 阻
三、Point to Point 检测过程，温湿度需已经测试调整合格每组数据需使用两个电极电阻计之开路电压为 500 欧姆，内阻至少 100000 欧姆每个无尘室至少量 5 组数据，取平均值
洁净室泄漏检测
1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。
2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，
3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。
洁净室检测
1．洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。
2．风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处，用热线式风速计测定，原则上每只ULPA测定两点，每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值，以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积（ULPA之面积)。
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