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广州Agilent分子泵维修承诺守信 广州潽拓光电

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广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修

振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试 通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度,以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。









分子泵控制器 “3D” 控制软件

早期的分子泵控制器又叫分子泵电源,其的功能是向分子泵供电;后来,改进型的控制器具备了一定的保护功能,可以监控分子泵的功率和温度,相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线,分子泵只能在这条线以下工作(2D),若超过这条线控制器就会报警停机。

与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到优性能的曲面上(3D),达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。

与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一个完整的系列。









有下面这些异常一定要尽早检修分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态不良时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。





涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高,可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度,其真空度高低视泵不同略有差异,一般在1-200Pa之间,可采用机械泵作为前级泵,高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高,通常用中频电机带动,中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。




CombiNEG系列采用安捷伦科技(Agilent Technologies),StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂(NEG)。安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵,赛斯是NEG吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自的技术和紧密的合作是这一革命性的产品问世的基础。


安捷伦分子泵采用的3级TwissTorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和极高的压缩比。的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度的干泵









安捷伦Agilent E8364B PNA系列网络分析仪频率范围:10 MHz-50 GHz104 dB 动态范围和 <0.006 dB 迹线噪声<26 微秒/点测量速度,32 个通道,16,001 个点TRM/LRM 校准可实现准确的晶圆上、夹具内、波导和天线测量混频器变频损耗、回波损耗、隔离度和群延迟放大器增益压缩、谐波、IMD 和脉冲射频安捷伦E8364B矢量网络分析仪是PNA系列网络分析仪平台的成员,并提供速度和精度的组合,为今天的高频率,的组件测试要求的苛刻需求。

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