真空泵选用的方法:
1、工艺要求达到的真空度
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。(如:真空工艺要求100pa(压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置
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真空泵选用的方法:
1、工艺要求达到的真空度
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。(如:真空工艺要求100pa(压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果压强要求3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。
2、工艺要求的抽气量(抽气速率)
真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。

真空泵选型时的注意事项
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
水环式真空泵故障原因和排除方法详解
1、不抽气的原因及排除方法
(1)水环式真空泵内没有水或水量不够,排除方法:向泵内。
(2)叶轮与泵体、泵盖的间隙太小,排除方法:调整间隙或更换叶轮。
(3)填料漏气,排除方法:压紧填料(对增加水量,即开大阀门开启度)。
2、真空度不够的原因及排除方法
(1)管道密封不严,有漏气,排除方法:检修管道。
(2)填料漏气,排除方法:压紧或更换填料,增加水封量。
(3)叶轮与泵体、泵盖之问间隙增大,排除方法:调整间隙。
(4)水温过高,排除方法:增加水量,降低水温。
(5)供水量太小,排除方法:增大泵水量,若因供水管堵塞,应予以疏通。
3、工作中有噪声和振动的原因及排除方法
(1)泵内零件损坏或有固体进入,排除方法:检查泵内情况,清除杂物。
(2)电动机轴承或轴磨损,排除方法:检查电动机轴承或轴。
(3)泵与电动机轴中心没有校正,排除方法:校正轴中心线。
4、轴功率过大的原因及排除方法
(1)泵内水过多应该减小供水量。
(2)叶轮与泵体或泵盖间隙太小,发生摩擦应该调整间隙。
5、发热的原因及排除方法
(1)供水量不足或水温过高应该增加供水量。
(2)填料过紧,调整填料。
(3)叶轮与泵体或泵盖间隙太小,排除方法:调整间隙。
(4)零件装配不正确,排除方法:重新正确装配。
(5)轴弯曲,排除方法:检查校正。
6、流量不足的原因及排除方法
(1)管路漏气漏液,排除方法:检查连接处机械密封。
(2)阻力损失增加,排除方法:检查管路及止回阀等有无故障。
真空泵的分类有几种
按照原理分类:
气体输送泵:顾名思义,气体输送泵就是将一个密闭空间内的气体输送至外部或其他容器内的机器,从而使封闭空间内气压降低,获得真空,例如水环泵、无油柱塞泵、旋片油封泵等。
气体捕集泵:是一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面的真空泵,一般采用化学或物理化学的方法将气体体积减小,从而获得真空。
按照真空度分类:
粗真空度:工业及实验室使用的水环式真空泵就是此类粗真空度泵,一般真空度为10E5~10E-1 Pa;
高真空度:常用的油封泵为这类级别,一般真空度为10E-1~10E-6 Pa;
超高真空度:气体捕集泵一般为这种类型,真空度能够达到10E-6~10E-9 Pa。
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