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MEMS激光雷达
相控阵技术是MEMS实现激光雷达功能的另一个解决方案,其基本原理是,MEMS的微小移动产生光程差,多个具有不同相位的出射光束在远场干涉形成光束偏转。韩国Byung-WookYoo等人的研究小组对此方案进行研究,如图6所示,在硅基上制备具有8×8高对比光栅的MEMS结构相控阵,优化的性能表
混合固态激光雷达厂家
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视频作者:北醒(北京)光子科技有限公司
MEMS激光雷达
相控阵技术是MEMS实现激光雷达功能的另一个解决方案,其基本原理是,MEMS的微小移动产生光程差,多个具有不同相位的出射光束在远场干涉形成光束偏转。韩国Byung-WookYoo等人的研究小组对此方案进行研究,如图6所示,在硅基上制备具有8×8高对比光栅的MEMS结构相控阵,优化的性能表现为10V电压即可产生1.7π的相移,具有0.5MHz的响应速度,采用透镜系统扩大视场,测量得到远场总视场角为9.14°×9.14°。
Flash激光雷达
Flash激光雷达的性能主要决定于焦平面探测器阵列,焦平面探测器阵列可以使用PIN型光电探测器,在探测器前端加上透镜单元并采用读出电路可以实现短距离探测,系统如图10所示。对于远距离探测需求,目前满足需求的的探测器—雪崩型光电探测器(avalanchephotodetector,APD),其探测的灵敏度高,可实现单光子探测,基于APD的面阵探
Flash激光雷达的距离分辨力和角度分辨力直接受限于探测器性能,为了实现远距离探测,焦平面阵列探测器需要价格昂贵的雪崩光电探测器(APD),更、更的探测器很难获得。为了解决Flash激光雷达分辨力受限的问题,韩国KAIST有研究小组提出采用偏振调制普克尔盒(polarizationmodulating Pockels cell,PMPC)和面阵微偏振电荷耦合器件(micro-polarizer charge-coupled device,MCCD)的方案,由于激光偏振态随着距离产生变化,MCCD可以探测回波的偏振态,计算得到距离,1024×1024个阵元数的MCCD可以弥补的APD阵列的不足,获得较高的角分辨力。实验得到了0.12mrad的角分辨率和16m范围内5.2mm的距离分辨率。
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