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扫描电镜景深长成像越立体当电子束照射到样品上,电子便会与样品发生多种反应。其中部分电子可以直接透过样品;部分电子被样品散射开来;另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来,并使它们成像,便可以构成不同类型的电子显微镜。其中,把样品表面反射回来的电子收集起来并成像,这种电子显微镜叫做扫描电子显微
扫描电镜价格
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扫描电镜景深长成像越立体
当电子束照射到样品上,电子便会与样品发生多种反应。其中部分电子可以直接透过样品;部分电子被样品散射开来;另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来,并使它们成像,便可以构成不同类型的电子显微镜。其中,把样品表面反射回来的电子收集起来并成像,这种电子显微镜叫做扫描电子显微镜。
扫描电镜的试样制备 扫描电镜一个突出的特点就是对样品的适应性很大,所有的固态样品,无论是块状的、粉末的、金属的、非金属的、有机的、无机的都可以观察。而且样品的制备比较简单,但仍需要一定的技术和要求,否则就不能达到满意的结果。一般的扫描电镜对样品的要求主要有:适当的大小和良好的导电性。扫描电镜景深长成像越立体。

二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分
电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵,比如Robins式背散射电子探测器,这时,可以使用二次电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。

真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射或六硼化镧及六硼化的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。
需要真空的原因包括:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。

电子束引致电流(Electron
电子束引致电流(Electron-beam induced Current , EBIC):当一个p-n接面(Junction)经电子束照射后,会产生过多的电子-空位对,这些载子扩散时被p-n接面的电场收集,外加线路时即会产生电流。阴极发光(Cathodoluminescence):当电子束产生之电子-空位对再结合时,会放出各种波长电磁波,此为阴极发光(CL),不同材料发出不同颜色之光。样品电流(Specimen Current):电子束射到样品上时,一部份产生二次电子及背向散射电子,另一部份则留在样品里,当样品接地时即产生样品电流。

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