洁净室检测测试规则
1.温度湿度,要求与生产及工艺相适应(温度18~26℃,相对湿度45~65%为宜)
2.压差洁净度级别不同的洁净室(区)之间压差>5Pa,洁净区与非洁净区之间压差≥10Pa。
3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备已安装,室内没有生产人员的测试。
4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处
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洁净室检测测试规则
1.温度湿度,要求与生产及工艺相适应(温度18~26℃,相对湿度45~65%为宜)
2.压差洁净度级别不同的洁净室(区)之间压差>5Pa,洁净区与非洁净区之间压差≥10Pa。
3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备已安装,室内没有生产人员的测试。
4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备及生产人员等已处于正常生产状态下的测试。
5.静态测试时,室内人员应不超过2人。测试记录和报告中应标明所测试的状态。
6.测试状态:静态测试和动态测试
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A、室内测试人员必须穿洁净服,不得超过2人,应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。
B、设备要在校准期内使用。
C、检测前和检测后设备“清零”
D、在单向流区域,所选择的采样探头应接近等动力采样,进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点,将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点,采样口应竖直向上。
E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。
采样点一般离地面0.8-1.2m左右,要均匀科学布点,而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目都不得少于2个,总采样数可根据面积开2次根求得。
洁净室检测
1.洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。
2.风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处,用热线式风速计测定,原则上每只ULPA测定两点,每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值,以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积(ULPA之面积)。
缓冲洁净室压差的检测要求
应监测开关门后压差恢复的情况,确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些(开关门)常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:
1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打开一边的门,注意房间或区间压力波动。关门,确认压差回到其原始值;
3.泄漏通道,例如门周边泄漏,应进行评估,作为洁净间设计的一部分,以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
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