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空检漏的意义?
答:真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的极限真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲,真空检漏可分为哪两大类?答:可以分为:1)压力检漏法,包括①充气检漏法,②卤素检漏法,③氨检漏
inficon真空计控制器价格
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空检漏的意义?
答:真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的极限真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲,真空检漏可分为哪两大类?答:可以分为:1)压力检漏法,包括①充气检漏法,②卤素检漏法,③氨检漏法。2)真空检漏法,包括①高频火花检漏法,②真空计检漏法,③质谱仪检漏法。
简述真空泵的抽气原理?答:1)利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩,b.蒸汽流粘滞牵引压缩,c.刚性表面的牵引压缩。2)利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用,b.利用物理吸附和化学吸附作用。
真空计,又叫真空规。半导体设备中,不可避免的用到真空计,主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽?能做什么?怎么用?1,是什麽?真空计,字面意思,计量真空度的仪器。2,能做什么?真空计主要用来测量真空,或者叫测量压强大小。腔室里面气体多,压力大,压强大,真空计显示的数值就大;反之,真空计显示的数值小。
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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示,气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。
热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝,两端连接电极,通电后灯丝会发热。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为Qg、Qr、Qs,则平衡状态下以下公式成立:式中Q———单位时间灯丝放出的热量;R———灯丝的电阻;I———灯丝的电流。
气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数;Λ———分子的热传导率;d———灯丝直径;a———灯丝长度;T———灯丝温度;T0———金属圆筒的温度;p———气体压强。Qs和Qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导,其中S是灯丝的断面积,κ是固体的热传导率,L是电极的长度。式(4-9)代表热辐射,σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则式(4-8)和式(4-9)为常数。
▲DL-10A谐振阻抗测量电路
近似地谐振阻抗Z为:Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压,VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗,由阻抗与气体压强的关系曲线,便可知道气体的压强。例如,DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器,其阻抗与压强的关系如下所示:▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系
图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强,由图可见,在压强小于100Pa,△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间,△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中,测量△Z值,由数码管显示对应的压强值,这就是石英真空计的工作原理。
DL-10A设置一个零点调节按键,当压强小于10-3Pa时,按一下该按键,单片机执行中断程序,将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键,当传感器暴露在大气时,按一下该按键,单片机执行另一中断程序,将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时,应进行零点调节及大气调节。
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