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流量控制器的作用

钢包吹氩处理又称刚液吹氩处理，是一种简易的钢液脱气和去除非金属夹杂物的炉外精炼方法。这种方法工艺简单，设备便宜，精炼效果明显。依据所需处理钢液在常温下的组织以及处理目的的不同，吹入钢液的气体，可以选用氩气、氮气、水蒸气、空气，或先吹入氮气、水蒸气、空气，然后再吹入氩气。钢液吹氩处理有重要的冶金意义。

使用LF系列气体质量流量控制器进行钢包吹氩的方式有两种：一种钢包底吹，一种钢包顶吹。钢包吹氩受压力的影响。吹氩压力越大，搅动力越大，气泡上升越快。但吹氩压力过大，氩气流涉及范围就越来越小，甚至形成连续气泡柱，而且容易造成钢包液面剧烈翻滚，钢液大量露在与空气接触造成二次氧化和降温。钢渣相混，被击碎乳化的炉渣入钢水深处，使夹杂物含量增加。所以很大压力以不冲破渣层露出液面为限。压力过小，搅拌能力弱，吹氩时间延长，甚至造成透气砖堵塞。

所以压力过大过小都不好，理想的吹氩压力是使氮气流遍布整个钢包，氩气泡在钢液内呈均匀分布。莱峰流体气体质量流量控制器由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

能准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响。不管是在钢包底吹还是钢包顶吹都能很好的控制氩气均匀的注入，使钢液在浇注前成分、温度均匀，实现连铸工艺正常化，提高钢材冲击韧性等。

流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。