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真空泵滑阀式真空泵

广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

真空泵干泵

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

真空泵漏气主要原因

水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多，有可能是输进液环的温度本来就高，也有可能是供给水或供给液水母不足，以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高，还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升，以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。