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洁净室检测测试规则

1.温度湿度，要求与生产及工艺相适应（温度18~26℃，相对湿度45~65%为宜)

2.压差洁净度级别不同的洁净室(区）之间压差>5Pa，洁净区与非洁净区之间压差≥10Pa。

3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态，生产设备已安装，室内没有生产人员的测试。

4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态，生产设备及生产人员等已处于正常生产状态下的测试。

5.静态测试时，室内人员应不超过2人。测试记录和报告中应标明所测试的状态。

6.测试状态:静态测试和动态测试

不同级别相邻洁净室间检测的压差

防止从相邻的洁净度较低的区域向洁净室传播污染的主要方法是:维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为1~lPa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差,目的是当房间的门处于关闭情况时通过缝隙的气流流向是由别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区，再流向室外，这样就可减少室外向服务区、服务区向低级别洁净室，低级别洁净室向别洁净室传播空气中的悬浮污染物。

洁净室泄漏检测

1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。

2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，

3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。

洁净室检测

1．洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。

2．风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处，用热线式风速计测定，原则上每只ULPA测定两点，每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值，以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积（ULPA之面积)。