螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。
吸气过程
阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
压缩过程
转子端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向
罗茨真空泵公司
螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。
吸气过程
阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
压缩过程
转子端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
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螺杆真空泵由于具有清洁无油、抽速大、振动小、噪声低等优点，已成为当前大型空间模拟真空系统的产品。另外，为了提高真空机组的抽速和极限真空并相应的减小螺杆泵的尺寸，一般都是采用一台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的二级机组或二台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的三级机组。为防止颗粒杂质进入泵内，在真空机组入口均配置入口过滤器，其精度为50 μm。罗茨真空泵公司
螺杆式真空泵特点
螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的干式真空泵。它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性，因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐，逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。
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