台式扫描电镜的一个突出优点其实制样的关键就是让样品导电，因此对导电样品，不需要再做特殊处理，特别是对那些能导电的块状样品，在样品没有油污、水分等的情况下，一般可直接放入样品仓中观察和分析样品表面形貌及相关的物理和化学特征，这是台式扫描电镜的一个突出优点。对非导电样品，只要在样品上喷涂一层导电物质（通常为金或碳）即可进行观察，这比起光学显微镜和透射电镜制样要简单得多。若将样品
环境场扫描电镜测试机构
台式扫描电镜的一个突出优点
其实制样的关键就是让样品导电，因此对导电样品，不需要再做特殊处理，特别是对那些能导电的块状样品，在样品没有油污、水分等的情况下，一般可直接放入样品仓中观察和分析样品表面形貌及相关的物理和化学特征，这是台式扫描电镜的一个突出优点。对非导电样品，只要在样品上喷涂一层导电物质（通常为金或碳）即可进行观察，这比起光学显微镜和透射电镜制样要简单得多。
若将样品置于靶材下方，则被溅射的金属原子团就会降落到样品表面，形成一层金属膜，用该方法给样品表面镀膜，称为离子溅射镀膜法。
中真空气氛下,在阳极与阴极之间加1~2
在中真空气氛下，在阳极与阴极之间加1~2.5kV的直流高压，使溅射仪的样品仓中残留的空气或人为注入的惰性气体被电离，气体被电离成带正电的阳离子和带负电的电子，并在电场的作用下，阳离子被加速飞向阴极，而电子被加速飞向阳极。如果阴极用金属靶材作电极，那么在阳离子轰击其表面时产生辉光放电，就会把阴极靶材表面的原子或原子团轰击出来，并在样品表面沉积成膜，这种过程称为溅射。此时被溅射出来的金属原子是中性的，即不受电场力的作用，主要靠重力的作用和残余气体的碰撞而向下飘落。
电子显微镜用于聚焦电子
电子透镜用于聚焦电子，是电子显微镜镜筒中很重要的部分。 一般使用磁透镜，有时也使用静电透镜。它利用与镜筒轴对称的空间电场或磁场，使电子轨迹向轴弯曲，形成焦点。其作用与光学显微镜中的光学透镜（凸透镜）一样，使光束聚焦，故称为电子透镜。光学镜头的焦点是固定的，而电子镜头的焦点是可以调节的，因此电子显微镜没有光学显微镜那样的可移动镜头系统。大多数现代电子显微镜都使用电磁透镜，电子被非常稳定的直流激励电流通过带极靴的线圈产生的强磁场聚焦。电子源由释放自由电子的阴极、栅极和以环形加速电子的阳极组成。阴极和阳极之间的电压差需要很高，一般在几千伏到三百万伏之间。它能以均匀的速度发射并形成电子束，因此加速电压的稳定性不万分之一。
扫描电镜及其组合分析功能
随着现代科技的发展，扫描电镜及其组合分析功能相继出现，如微热台和冷台系统，主要用于观察和分析材料在加热过程中微观结构的变化和冷冻；平台系统主要用于观察和分析受力过程中发生的微观结构变化。扫描电镜结合其他设备的新分析功能，在新材料、新工艺的探索和研究中发挥着重要作用。
由电子发出的电子束经过栅极静电聚焦后成为直径50微米的点光源，然后在加速电压作用下，经两三个透镜组成的电子光学系统，电子束被会聚成几十埃大小聚焦到样品表面。
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