真空干燥箱操作方法：
1、 需干燥处理的物品放入真空干燥箱内，将箱门关上，并关闭放气阀，开启真空阀，接通真空泵电源开始抽气，使箱内真空度达到-0.1M Pa时，关闭真空阀，再关闭真空泵电源。
2、 把真空干燥箱电源开关拨至“开”处，选择所需的设定温度，箱内温度开始上升，当箱内温度接近设定温度时，加热指示灯忽亮忽熄，反复多次，一般120min以内可进入恒温状态。
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真空干燥箱操作方法：
1、 需干燥处理的物品放入真空干燥箱内，将箱门关上，并关闭放气阀，开启真空阀，接通真空泵电源开始抽气，使箱内真空度达到-0.1M Pa时，关闭真空阀，再关闭真空泵电源。
2、 把真空干燥箱电源开关拨至“开”处，选择所需的设定温度，箱内温度开始上升，当箱内温度接近设定温度时，加热指示灯忽亮忽熄，反复多次，一般120min以内可进入恒温状态。
高温干燥箱使用过程须知：
1. 高温干燥箱应在室内工作，并安装平稳。
2. 电源输入应装置的前级通断开关，并接妥良好地线。
3. 必须检查电源、电压、电源接线无误后，方可通电使用。
4. 在新购使用或搁置较久再用时，应先用低温烘烤80-100℃二小时后再开始升高温度，以利潮气外泄，增强绝缘性能和延长瓷件寿命。
5. 仪表控温的热敏元件探头应从左侧线路的测温孔中插入工作室内,不得从箱顶气阀中心孔插入，以免影响使用。
6. 本干燥箱初次使用时，应请勤加以观察，避免过热烘坏工件，造成损失。
7. 使用如感到热惯稍大时，可关闭一组加热器以降低发热功率，防止惯性过大造成超温。
8. 取入烘烤物件：请勿撞击伸入工作室的控温器部份，防止损坏控温器导致失灵。
9. 本箱在没有说明“防爆烘箱”的情况下切忌烘烤易暴，易着火及挥发性的物品，以防曝炸。
10.如遇故障，请电工检修。
使用操作烘箱要注意以下几点：
（一）烘箱的时间一定要调正确，这样才能达到烘烤的效果。
（二）烘箱的温度一定要调正确，这样才能保正烘烤的质量。
（三）烘箱的废气排放一定要合理，千万不能堵住。
（四）烘箱按装的电线一定要有足够的截面，保证安全用电。
（五）烘箱按装必须接可靠的地线。
（六）烘箱装放的四周必须有一定的散热空间，不能靠近易着火物。
（七）烘箱四周要装放气体灭火器。
热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？
1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。4、检查电流表的电流是否和正常时的一样，假如有异常的情况产生，必须要及时进行处理，先将电源关掉。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。
2、掩码对齐
由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。3、保险丝熔断循环风机不运转解决办法：1、断路器复位2、更换电机3、更换保险丝（2）加热器不工作原因：1、电流超高，热继电器跳闸。
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