真空镀膜加工的滤片透射率
由于全介质多层反射膜只在有限的区域是有效的,因此滤光片透射率峰值的两边会出现旁通带.在大多数应用中需要将它们弄掉.短波旁通带只要在滤光片上叠加一块长波通吸收玻璃滤光片便很容易去掉,但是很不容易得到短波通吸收滤光片、有些可供利用的吸收滤光片虽然能有效地长波旁通带,但因其短波方面的透射率太低,大大降低了整个滤光片的峰值透射率.解决这个问题的满意的办法
化学气相沉积加工
真空镀膜加工的滤片透射率
由于全介质多层反射膜只在有限的区域是有效的,因此滤光片透射率峰值的两边会出现旁通带.在大多数应用中需要将它们弄掉.短波旁通带只要在滤光片上叠加一块长波通吸收玻璃滤光片便很容易去掉,但是很不容易得到短波通吸收滤光片、有些可供利用的吸收滤光片虽然能有效地长波旁通带,但因其短波方面的透射率太低,大大降低了整个滤光片的峰值透射率.解决这个问题的满意的办法是干.脆不用吸收滤光片,而是把后面将要讨论的诱导透射滤光片作为截止滤光片使用、由于诱导透射滤光片没有长波旁通
真空镀膜加工的科学蒸镀
真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室,底盘上有真空测试用的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*Pa以上,采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的,它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝的上
真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支,在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。
真空蒸镀:其原理是在真空条件下,用蒸发器加热带蒸发物质,使其气化或升华,蒸发离子流直接射向基片,并在基片上沉积析出固态薄膜的技术。
溅射镀膜:溅射镀膜是真空条件下,在阴极接上2000V高压电,激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。
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