洁净室检测测定
可分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工,空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内无生产设备和工作人员状态下进行的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内生产设备已安装,无工作人员状态下进行的测定。动态是指洁净室已处于正常生产状态下进行的测定。
对于新建的洁净室竣工验收,应进行空态或静态测定
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洁净室检测测定
可分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工,空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内无生产设备和工作人员状态下进行的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内生产设备已安装,无工作人员状态下进行的测定。动态是指洁净室已处于正常生产状态下进行的测定。
对于新建的洁净室竣工验收,应进行空态或静态测定。而综合性能的评价是指在动态条件下测定,是由建设单位负责,设计、施工单位配合。
洁净室检测等动力采样的问题
所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径,即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度,如果这些粒子不受非等动力条件的影响,则计算结果也不受影响。因此,净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。
缓冲洁净室压差的检测要求
应监测开关门后压差恢复的情况,确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些(开关门)常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:
1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打开一边的门,注意房间或区间压力波动。关门,确认压差回到其原始值;
3.泄漏通道,例如门周边泄漏,应进行评估,作为洁净间设计的一部分,以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
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