近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。但
罗茨真空泵厂商
近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。但是, 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外, 其设计理论和制造工艺亟待提高, 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题, 制约了多级罗茨干泵研制和生产。
多级罗茨干泵在混合压缩过程中, 压缩气体产生热量。泵抽除含氧过高、对金属有腐蚀作用的、与真空泵油起化学反应的气体或有机容剂等，请务必在被抽系统与真空泵之间串联一相应的过滤器或干燥剂，以确保真空泵正常使用。随着工作周期的重复, 产生的热量积聚起来, 并逐渐传递给转子和泵体内壁, 造成转子和泵体内壁的温度升高。由于温度的升高, 转子和泵腔将会产生一定的热变形, 会影响间隙通道的尺寸。而间隙是干泵设计重要的参数之一, 由于存在气体逆向返流现象, 间隙的选取会严重影响干泵的极限真空度、压缩比、容积效率、发热卡死等指标。
对泵体内的传热过程及转子、泵腔的温度升高和受热变形进行分析, 一方面为泄漏量的准确计算提供依据, 另一方面, 也是涉及间隙尺寸、考察发热后转子与泵体内壁是否刮碰的一个重要依据。
（5）真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
（6）了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
（7）真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
（8）真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
（9）真空泵的价格、运转及维修费用。
莱宝罗茨泵的正确安装步骤如下：
1、用矩形框架固定检修平台，将一级转子前端隔板放在其上，将主、从动转子按标记放置，在四角逐步安装泵壳、隔板、级间密封圈、调整垫和圆柱定位销。注意纸垫厚度与解体记录一致，拧紧泵体紧固螺栓。
2、泵体水平放置在检修台上，安装两端隔板处转子节流环；安装轴承箱内壁板；安装轴承座和轴承。
3、用塞尺检查各级转子和隔板的前后间隙。必须满足真空泵维修手册中的间隙数据。转子与前后隔板间隙一般大于要求的小值，调整范围为0+0. 10mmo
4、预装同步齿轮：用键槽安装并锁紧同步齿轮，用手轻轻按压锥齿轮。
5、调整两转子角度交叉90 ，在第二级两转子之间插入塞尺，固定长轴垂直转子；用手轻轻转动另一转子，感觉前后松紧一致，然后拧紧锥同步齿轮上的锁紧螺母，然后手动转动齿轮以确保没有堵塞。
B、用塞尺检查各级转子之间的间隙。检查两转子与水平线±450处的间隙；1为两转子的总间隙，一般要求转子在-450时为D/3, +45 时为2D/3
7、安装前后轴承箱后盖板、油封、机械密封，安装后冷却水箱，安装皮带轮；
8、将莱宝罗茨泵安装回原设备基础，拧紧地脚螺栓，调整带严密性，恢复进出管道连接。
9、加润滑油，检查密封情况，准备调试。
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