金百辰智能科技（浙江）有限公司从事汽车零部件、家电类、机械配件等塑胶成型与pvd镀膜工艺加工。
pvd镀膜技术与您分享当前国内薄膜技术研究的主要热点
近年来纳米超硬膜技术已成为涂层领域研究开发的热点，自2000年以来在国内已进入持续开发阶段。超硬膜定义为硬度大于40GPa，众所周知，金刚石、立方氮化硼、非晶态类金刚石等具有超硬膜的本征硬度，其研究及应用
pvd镀膜技术
金百辰智能科技（浙江）有限公司从事汽车零部件、家电类、机械配件等塑胶成型与pvd镀膜工艺加工。
pvd镀膜技术与您分享当前国内薄膜技术研究的主要热点
近年来纳米超硬膜技术已成为涂层领域研究开发的热点，自2000年以来在国内已进入持续开发阶段。超硬膜定义为硬度大于40GPa，众所周知，金刚石、立方氮化硼、非晶态类金刚石等具有超硬膜的本征硬度，其研究及应用已经历了较长时间，但其膜系本身的某些特性却制约了应用领域的拓展。如金刚石薄膜并不适合于铁基材料的切削加工，而立方氮化硼薄膜由于难于与刀具基体结合、易剥落，且高纯度的c-BN制备困难，也尚未达到商业应用水平。因此近年来薄膜技术的开发热点更多的集中于非本征超硬膜的研究。非本征硬度超硬薄膜的超硬性和力学性能主要来自于它们组成物的性质和超细显微结构，其组成物多为氧化物、碳化物、氮化物及硼化物，而其显微结构达到了纳米数量级。
pvd镀膜技术与您分享真空镀膜随着PVD镀膜技术应用的迅速推广，吸引了国内外们和相关企业积极研发，至今无论是PVD沉积技术、PVD的制备工艺，还是PVD设备配套装备与部件，都有了长足的进步。
1.冷阴极电弧 阴极电弧技术是在真空条件下，通过低电压和高电流的弧光放电将靶材气化、离化成等离子体状态，从而实现薄膜材料的沉积。近阴极电弧蒸发源有新的发展，主要是通过有效强制冷却和电磁场的设计，在两者共同作用下，使靶材的离化率更高，薄膜性能更加优异。
2.磁过滤阴极弧 配以的电磁过滤系统，将电弧产生的等离子体中的中性宏观粒子、分子团等大颗粒过滤干净，经磁过滤后沉积粒子的离化率达，因此制备的薄膜非常致密和平整光滑，具有抗腐蚀性能好，与基体的结合力更强。
3.柱状或平面状电弧源 保证高离化率的同时，减少大颗粒沉积的比例，达到既有好的附着力，又有较好的表面光洁度效果。
4.中频磁控溅射 增加离化率，减少电荷积累引起的异常放电，预防靶表面现象，沉积工艺更稳定。
pvd镀膜技术与您分享磁场不均匀的影响
由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的，也不是处处正交的，都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的，至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响，也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的，有效方法就是配合实验具体分析。是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。
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