目前已形成湿法清洗系统 刻蚀系统CDS系统 尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品,广泛直用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域,以良好的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。
主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备的研发和生产销售。其经营范围:半导体清洗设备、太阳能光伏设备组装、生产、设计、研发、销
硅片刻蚀
目前已形成湿法清洗系统 刻蚀系统CDS系统 尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品,广泛直用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域,以良好的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。
主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备的研发和生产销售。其经营范围:半导体清洗设备、太阳能光伏设备组装、生产、设计、研发、销售。
工艺升级带动刻蚀机用量增长,技术壁垒极高制程升级带动刻蚀机使用提升从近年来各主要半导体设备资本开支量占比来看,刻蚀机份额占比有显著提升。在2010年之前,刻蚀机资本开支占比一直维持在15%左右,而进入2011年以后,随着制程的持续升级,刻蚀机资本开支占比也有显著提升。半导体生产厂家时时刻刻都想方设法降低成本,当然也有其它的因素如环保要求迫使他们改变封装型式。
刻蚀是半导体制造三大步骤之一刻蚀已经成为半导体晶圆制造中的关键步骤,在半导体制造中重要性凸显。半导体制造主要步骤包括光刻、刻蚀、以及薄膜沉积三大步骤,并且不断循环进行,以构造出复杂精细的电路结构。而这三个环节工艺的程度也直接决定了晶圆厂生产高制程产品的能力,以及芯片的应用性能。
化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,后还有DI清洗。IPA是,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。
刻蚀设备作为半导体设备的中坚力量,有望先完成国产替代。半导体设备主要应用于半导体制造和封测流程,是半导体行业的基础。随着半导体制程的微缩和结构的复杂化,半导体刻蚀设备的种类和技术难度递增。从市场来看,刻蚀机尤其是介质刻蚀机,是我国比较具优势的半导体设备领域,也是国产替代占比较高的重要半导体设备之一。
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