因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有的优越性，可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各
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因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有的优越性，可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
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螺杆式真空泵主要结构
上图可见，螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分；依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵；单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同，可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵，变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。
多头型线在一个导程内即能完成吸气、压缩、排气过程，导程少，可有效减少泵的体积与重量，适用于大抽速领域，但其型线复杂，需道具与机床，加工费用昂贵，且由于泄漏三角的因素，真空度不高，因此市场上并不多见。
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螺杆真空泵的动密封件在齿轮箱盖附近多为骨架油封，进气口侧多采用双唇型密封圈或机械密封，排气口侧多为机械密封、唇形密封、氮气密封或其组合形式。像螺杆真空泵厂家介绍过的磁流体密封这些还未见用于螺杆真空泵的密封装置中。这些密封装置形式，相对来说，唇形密封结构简单、成本低，但是使用寿命较短；机械密封工作稳定，密封性好，但成本相对较高。而且由于泵有压缩过程，排气端处温度较高，机械密封在高温工作下端面磨损剧烈，如果温升过高会大大缩短机械密封的寿命。泡沫厂真空泵公司
螺杆真空泵在石化行业蒸汽回收方面的应用
干式螺杆真空泵在蒸汽回收装置中是一个关键性设备，所抽气体为容易挥发的蒸汽，主要成份是C4、C5、C6 等蒸汽，其装置原理如图16 所示。
由于螺杆真空泵的精度要求比较高，维修前需要仔细检查。如果不是很需要，可以不用拆卸，以免维护不当。降低准确率。当然，当某些部件的性能变差或部件的支撑间隙发生变化时，也需要进行调整。
虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵，但从长远来说，其宽适应、环保的特性以及低故障维修率，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益，使用的更加广泛性必是未来的趋势。
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