洁净室检测对不同的对象,有不同的控制要求
⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质:高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
洁净技术内容涉及:
⑴洁净室检测技术(工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室):包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以
洁净度检测公司
洁净室检测对不同的对象,有不同的控制要求
⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质:高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
洁净技术内容涉及:
⑴洁净室检测技术(工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室):包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以及消除静电和防微振。
⑵高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品的制取、输送及纯化。
⑶有关玷污物的检测及监测。
洁净室泄漏检测
1.于ULPA上游侧,测定一次侧之外气或回风浓度,以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值(可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。
2.距 ULPA测试面下方30—50MM处,以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M,其量测方向为由外围渐次向内,
3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。
缓冲洁净室压差的检测要求
应监测开关门后压差恢复的情况,确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些(开关门)常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:
1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打开一边的门,注意房间或区间压力波动。关门,确认压差回到其原始值;
3.泄漏通道,例如门周边泄漏,应进行评估,作为洁净间设计的一部分,以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
洁净室压差日常监测如何控制
一.关于压差报警,允许对压差报警设定,以满足日常操作需要(如进出开门),但需要合理确定该项活动所需要的时间,并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报,以允许洁净室的正常活动,如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。
二.有关缓冲间门的要求,除非安装充气密封(equipped with inflatable seals),否则开门后压差存在泄漏(客观事实)。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时,气闸(缓冲间)的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而,除非这些门装有充气密封,否则当其中一扇门打开时,通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大(客观事实)。
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