真空泵的保养
真空通常由抽气机获得,其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
恶劣的工作环境和差异化的使用工艺,油旋片真空泵应该及时保养或根据不同使用工艺条件缩短保养周期
真空泵散热风扇及泵体表面
贝克真空泵代理
真空泵的保养
真空通常由抽气机获得,其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
恶劣的工作环境和差异化的使用工艺,油旋片真空泵应该及时保养或根据不同使用工艺条件缩短保养周期
真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质,影响泵体散热,油箱内部以及泵腔内部真空油固化,因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出,单向阀堵塞损坏
定期检查油镜油位,观察真空泵油颜色,判断油量;观察排气口是否有油烟排出;如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换;检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照保养指导书进行保养;或者根据实际使用工况进行保养。
真空泵维护和保养
1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以泵运转时,油位到油标中心为准。
2、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保泵工作正常。
3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。
真空泵选型
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
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