洁净度检测时,使用光散射粒子计数器的取样量
关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量,在GBJ73-84中规定:对于100级的净化车间,每次取样量应大于或等于1L,对于1000~10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.3L,对于10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.1L。
对于100级净化车间,宜采用大流量粒子计数器进行测试。如果不具备,也应采用
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洁净度检测时,使用光散射粒子计数器的取样量
关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量,在GBJ73-84中规定:对于100级的净化车间,每次取样量应大于或等于1L,对于1000~10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.3L,对于10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.1L。
对于100级净化车间,宜采用大流量粒子计数器进行测试。如果不具备,也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。
在对净化车间进行洁净度检测时,尽管规定了空气的小采样量,但在实际工作中,我们应在保证小采样量前提条件下,根据已有的检测设备,尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。
洁净室泄漏检测
1.于ULPA上游侧,测定一次侧之外气或回风浓度,以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值(可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。
2.距 ULPA测试面下方30—50MM处,以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M,其量测方向为由外围渐次向内,
3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。
洁净室各类检测
1.温湿度检验:①使用温湿度计测试时,距地板高度约1.2M,用温湿度计于测试,约每9M2测定一点,每点之测定时间约5秒;②如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。
2.噪音检验:距地板约1.2M,用噪音计于测测试,测数以每9M为一点,每点测定时间5秒。
3.不管气流为层流.乱流或混合式流,于工程完成后之状(ASBUILT)各项目大部分均须列入检验,但在作业状态则有所选择。
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