厦门中技创机电技术有限公司是工业自动化系统成套解决方案的提供者，致力于各类工业传动自动化领域的系统控制、软件开发、电气驱动、机械传动、传感应用、深得客户的信任和长期支持。
微小流量的测量
半导体制造业、生物工程、精细化工等的兴起，使流量测量向低端延伸，小流量计流量的要求在上世纪80∽90年代凸显起来。何谓小流量？业界尚无公认的定义和界限，小流量因应用领域而异是一个模糊的
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厦门中技创机电技术有限公司是工业自动化系统成套解决方案的提供者，致力于各类工业传动自动化领域的系统控制、软件开发、电气驱动、机械传动、传感应用、深得客户的信任和长期支持。
微小流量的测量
半导体制造业、生物工程、精细化工等的兴起，使流量测量向低端延伸，小流量计流量的要求在上世纪80∽90年代凸显起来。何谓小流量？业界尚无公认的定义和界限，小流量因应用领域而异是一个模糊的概念。
要求测量时防止污染流体
若测量洁净气体和纯水常不允许接触流体的仪表零件材料析出离子，例如半导体制备中仪表不能用金属和玻璃制成，只能用塑料。流体中也不允许混入活动件的磨蚀尘粒。
制冷型热式流量计，（美）Estech公司LF系列仪表满度流量在0.01-100g/min范围内有9种规格，响应时间2s。这种通用设计的仪表用于小管径遇到的问题有：(1)小口径仪表声程长度和所测时间过短，口径小于50mm检测有难度。热式流量计测量质量流量，气体仪表通常用空气校准，空气、氮气等温度压力变化不大时（100℃，1Mpa以内），测量值所受影响极小，测量其他气体时用系数换算。
大流量的测量
随着为提高xiao率推向大型化规模生产，流量仪表也经历了一轮向大口径扩展的变革，如电磁流量计口径大已经达3m，超声流量计已经能用到5-10m管道。
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