硅片清洗 化学清洗
化学清洗是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗（硫酸、·王水、各种混合酸等）和等离子体法等。其中体系清洗方法效果好，环境污染小。一般方法是将硅片先用成分比为H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的强氧化性,将有机物分解而除去；用超纯水冲洗后,再用成分比为H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7
晶圆腐蚀设备
硅片清洗化学清洗
化学清洗是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗（硫酸、·王水、各种混合酸等）和等离子体法等。其中体系清洗方法效果好，环境污染小。一般方法是将硅片先用成分比为H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的强氧化性,将有机物分解而除去；用超纯水冲洗后,再用成分比为H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的碱性清洗液清洗,由于H2O2的氧化作用和NH4OH的络合作用，许多金属离子形成稳定的可溶性络合物而溶于水；然后使用成分比为H2O:H2O2:HCL=7:2:1或5:2:1的酸性清洗液，由于H2O2的氧化作用和盐酸的溶解，以及氯离子的络合性，许多金属生成溶于水的络离子，从而达到清洗的目的。
民用清洗领域
40岁以上的人可能还会记得20世纪80年代以前．那几乎就是你每月所有的清洗剂了．洗衣服要用它。洗头要用它，洗澡也要用到它．改革开放以来，的民用清洗领域发生了翻天覆地的变化．从早期的“威娜宝”到今天的“海飞丝”，“飘柔”，各种各样的洗发香波琳琅满目，各种洗涤用品广告充斥着电视的黄金频段，现在可能已经很少有人再用过去那种肥皂洗头了．
与此同时，规模化的洗涤公司遍及大街小巷．大大小小的家庭清洁．保洁公司大量出现，民用清洗领域呈现商业化。随着我国国民经济的持续高速发展．人们对日常生活质量提出了更高的要求，对各种清洗的需求日增．民用清洗形成了巨大的市场．
从远古以来．人类就了解和掌握了一些与自身有关的清洗知识．在古代，人们除了用清水去除沾附在身体和衣物上的泥沙之外，还知道用草木灰去除衣物上的油性污垢．纯碱和肥皂是人类至今仍然在大量使用的历史为悠久和普遍的清洗用品．20世纪随着化学工业特别是石油工业的发展而出现的合成洗涤剂，以及随之出现的洗涤设备，极大地改变了人们的日常生活．
名目繁多的清洗剂也摆在每个家庭的厨房，各种清洗剂如“玻璃水”，“瓷砖灵”。“去油王”等大量进入市场．
超声波清洗机橡胶工业：需要清洗的产品：手套、带子、白轮胎、橡胶制品、橡胶成型金属模/陶瓷模等污染源：指纹、尘垢、防腐剂、油墨、染料、塑料残留物、橡胶残渣使用清洗剂：碱性洗涤剂、酸性洗涤剂、中性洗涤剂；纯水清洗设备是指可用于人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。
化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF,,H2SO4,H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，去离子,去原子，后还有DI清洗。IPA是，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。
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