圆柱形硅片平面抛光机，主要用于各种大尺寸硅片及晶体材料的平面抛光，其之处在于有四个吸附盘吸附硅片与抛光盘做逆时针旋转来达到抛光的目的。http://www.lapping.com.cn/
FD-36A型硅片平面抛光机特点：
1.本系列平面抛光机的吸附盘由四台单独的电机驱动、速度与压力可调。
2.控制系统中采用PLC彩色终端等技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护的功能；
3.本系列抛光机运行平稳，抛光后的产品厚度公差可控制在正负0.002mm范围内，粗糙度可达到0.4nm。
FD-36A型硅片平面抛光机技术参数
型号:FD-36A
抛光盘规格:φ910*φ300
抛光尺寸:φ300mm
抛光后平面度:±1u以内
工件平行度（25mm）:±2u以内
工件粗糙度:0.4nm以内
抛光盘电机功率: 7.7kw 3相380V
抛光盘转速:0~80rpm
外形尺寸:1200*1400*2300mm
重量:2600kg
