众所周知,精密车床零件加工方法的特点是对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。但是要获得精密车床零件加工精度,仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统,并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂(见光刻)举行曝射,使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合或分解,再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉,制成掩膜。电子束曝射制版必要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等。在精密车床零件上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削,切削厚度仅1微米左右,常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等、外表高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜,精度可达0.1微米,外表粗糙度为Rz0.05微米。
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