（1）中大镀锌风管15864193123一般排气：其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体，但考虑无尘室空调负荷与过滤装置负荷，因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。注：GEX采用镀锌螺旋风管，HEX采用SUS304酸排（SEX）、碱排（AEX）系统流程：
（2）中大镀锌风管酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，故必须经过Scrubber中水洗中和处理，再由风机排入大气。
（3）中大镀锌风管有机溶剂排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。
（4）中大镀锌风管碱性剥离排气：主要来源为阵列工程的剥离工序所使用之剥离液,废气首先经过冷凝吸收器,将废气中的剥离液冷却下来,冷凝器吸收处理后的废气所含的废气浓度会大为下降,然后送至Central Scrubber做水洗中和处理，再由风机排大气。
（5）中大镀锌风管应急排气：当洁净室机台端风管内探头感应气体浓度过高时，紧急启用以使生产正常并维持室内环境
