齿轮热处理后磨内孔是齿轮加工中常遇到的工艺问题，它在整个齿轮加工过程中占有重要位置。因为是终加工，加工质量的好坏直接决定齿轮的各项形位公差是否达到精度要求及成品合格率的高低，关系到磨孔前的十几道工序和工件材料是否报废。因此，为了保证内孔加工后的各项形位公差达标，提高成品合格率，对齿轮磨内孔加工的装夹、定位都有严格要求。但是，由于齿轮的外形特殊，其装夹、定位比一般工件困难。
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如按常规采用三爪卡盘夹紧齿轮分度圆磨内孔，因是大批量生产，三爪卡盘每次紧、松的移动行程只是常用的一小段，当这一段移动行程磨损后，整套三爪卡盘随即报废。而且使用一段时间后，三爪卡盘的整体精度下降，将影响齿轮的各项综合误差。
薄膜弹性卡爪式夹具是利用一个具有弹性的薄片圆板简称膜片，在轴向力作用下发生弹性变形，使膜片上的卡爪定位夹紧表面增大或减小，将工件定心夹紧。
膜片卡爪不但可以夹紧工件外表面，也可以夹紧工件内表面内胀夹紧，对定位夹紧装置略作改动，即可用于夹紧工件内表面。
沈阳海默生产研发的齿轮内圆磨床采用薄膜卡盘装夹，一次装夹，粗精磨一次完成，大大提高了生产效率。
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