影响镀膜机磁控靶点火电压的因素有哪些
靶材对点火电压的影响
(1)阴极靶材的不同材质,因溅射的能量阀值的不同,一般溅射“逸出功”较小的阴极靶材,其点火电压和工作的电压要低一些,反之则会高一些。(2)铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁等)和铁素体靶材,会偏转和减少阴极溅射靶面磁场对磁控靶造成影响。靶面磁场的降低,使磁控靶需要很高的电压才能点火起辉。(
自动镀膜机

影响镀膜机磁控靶点火电压的因素有哪些
靶材对点火电压的影响
(1)阴极靶材的不同材质,因溅射的能量阀值的不同,一般溅射“逸出功”较小的阴极靶材,其点火电压和工作的电压要低一些,反之则会高一些。(2)铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁等)和铁素体靶材,会偏转和减少阴极溅射靶面磁场对磁控靶造成影响。靶面磁场的降低,使磁控靶需要很高的电压才能点火起辉。(3)点火电压与磁控靶靶材溅射面积和真空腔体的机械尺寸大小有关。靶材溅射面积大,或是真空腔体的机械尺寸大,相应充入工作气体的数量值较多,在同一阴-阳极电压下,工作气体例如气电离出导电正离子和电子亦增多,导致点火电压下降(在镀膜时还会造成磁控靶溅射电压一定程度上的降低)。
磁控溅射镀膜靶电源的空载电压
(1)靶电源输出的空载电压主要供磁控靶“点火起辉”用,其峰值电压大体可分为三挡,即:800V-1KV-1.2(或1.3)KV左右。(2)大约在5KW以下的靶电源输出空载电压的峰-峰值Vp-p一般在1~1.3KV左右;5KW以上的靶电源其输出的空载电压的峰-峰值Vp-p大约在800~1KV;且电源功率越大,其输出的空载电压越接近偏小值。(3)铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁)以及其它铁素体靶材,在选用靶电源输出的空载电压时,须选择靶电源输出空载电压峰-峰值Vp-p范围的偏大数值。
镀膜机镀膜工艺的时候该如何调试和掌控均匀性
从开机,到镀膜整套流程完成,都离不开调试机器机这一环节,因此想要成为一位的镀膜技术人员,调试镀膜机方法和技巧是必须要掌握的要领。特别是新员工,刚上手镀膜工艺的时候,经常会出现镀膜机调试不达标,镀膜均匀性把控不好,因此而烦恼。下面至成真空小编为大家讲解一下,关于真空镀膜机该如何进行时调试和镀膜的时候如何把控好镀膜均匀性,才能顺利完成镀膜整个流程。
首先需要先测试设备的抽真空速度,在测试过程中检查漏气情况与各真空泵的性能;然后再测试设备的密封性能,就是抽到极限后保压1小时看压降是否达标,同时排除细小的漏孔;第三步,产品试作,检验其他的性能,比如传动、加热、绝缘等等;如果有工艺保证的话就继续打样并作测试;并且所有的测试应作记录,并有记录人签字以及有使用部门或工程部门的人确认签字即可。对于不同原理的真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。
真空镀膜设备工件是怎么去除气的呢?
真空镀膜设备如何操作,它的工件该怎么除气
真空镀膜产品普及到生活方方面面,真空镀膜设备也就要求越来越高,很早以前物品镀膜,只是为了,防老化,随着时间的推移,镀膜现在不仅仅只是,更多外形上的美观。因此现在膜层已经花样百出,颜色各不相同,甚至不同行业的,镀膜设备的型号和功能也不尽相同,自然镀膜工程师技术要求更高。然后镀膜设备在运行的过程中,镀膜工程师总会遇到工件除气的问题,下面至成真空小编为大家讲解一下真空镀膜设备的操作方法及工件该如何去除气。
真空镀膜设备操作,大家刚开始接触的时候,先记住步骤,后面再慢慢实践,我们在准备操作镀膜设备的时候,首先要检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在"关"位置,然后打开总电源开关,真空镀膜设备送电,再接着低压阀拉出,开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。这时安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物,接着落下钟罩,启动真空镀膜设备抽真空机械泵,后面就要开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。设备当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。继续开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。低压阀拉出时,立式单开门镀膜机重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。
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