低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。相比较原来常用的机械油泵，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。②低温吸附：气体分子以一个单分子层
极高真空
低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。相比较原来常用的机械油泵，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。
射汽式抽气器的优点是效率比较高，可以回收蒸汽的热量。缺点是制造较复杂、造价大，喷嘴容易堵塞。抽气器用的蒸汽，使用主蒸汽节流减压时损失比较大。随着汽轮机蒸汽参数的提高，使得依靠新蒸汽节流来获得汽源的射汽式抽气器的系统显得复杂且不合理；大功率单元机组多采用滑参数起动，在机组起动之前亦不可能有足够汽源供给射汽式抽气器，所以射汽式抽气器现在在大机组上应用较少。磁控溅射镀膜是气象淀积的一种，广泛应用于电子，建筑，汽车等行业中，尤其适用于镀膜。
真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。
相比较原来常用的机械油泵，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后，再打开闸板阀，用低温泵抽高真空，低温泵的特点是抽速大，尤其是除水蒸汽的能力非常强。
溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的核心部分。
基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质，可以提高薄膜与基片的附着力，另外对于某些金属，合适的温度能提高薄膜的质量。
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