双色真空镀膜机PVD技术的应用范围及优缺点
很多人对真空镀膜机PVD技术的了解不是特别全,也不知道具体是应用到哪些行业,以及它在实际运用过程有哪些优缺点至成真空小编现在详细和大家介绍一下:
真空镀膜机PVD技术其应用范围是:
1)碳钢、合金钢、不锈钢及钛合金等金属材料;
2)金属材料的表面硬度至少需要在HV170以上。
真空镀
真空离子镀膜设备厂家

双色真空镀膜机PVD技术的应用范围及优缺点
很多人对真空镀膜机PVD技术的了解不是特别全,也不知道具体是应用到哪些行业,以及它在实际运用过程有哪些优缺点至成真空小编现在详细和大家介绍一下:
真空镀膜机PVD技术其应用范围是:
1)碳钢、合金钢、不锈钢及钛合金等金属材料;
2)金属材料的表面硬度至少需要在HV170以上。
真空镀膜机PVD技术其优点是:
与传统磁控溅射单色PVD技术相比,双色PVD工艺更为复杂,流程更为繁杂,生产难度高,但外观效果,两种颜色的表面硬度都在HV600以上。传统磁控溅射单色PVD技术要在实现双色效果,采取的工艺措施是在整体PVD单色的基础上把需要实现另一种颜色的区域激光镭雕掉或者磨掉。新加工出来的区域就只能表现金属的本色,表面硬度也就是金属本身的表面硬度---HV200左右(而PVD后的表面硬度为HV600以上)。
多弧溅射在靶材上施小电压大电流的作用
多弧溅射在靶材上施小电压大电流使材料离子化(带正电颗粒),从而高速击向基片(负电)并沉积,形成致密膜坚硬膜。主要用于耐蚀膜。中频溅射的原理跟一般的直流溅射是相同的,不同的是直流溅射把筒体当阳极,而中频溅射是成对的,筒体是否参加必须视整体设计而定,与整个系统溅射过程中,阳极阴极的安排有关,参与的比率周期有很多方法,不同的方法可得到不相同的溅射产额,得到不相同的离子密度中频溅射主要技术在于电源的设计与应用,目前较成熟的是正弦波与脉冲方波二种方式输出,各有其优缺点,首先应考虑膜层种类,分析哪种电源输出方式适合哪种膜层,可以用电源特性来得到想要的膜层效果.中频溅射也是磁控溅射的一种,一般真空镀膜机磁控溅射靶的设计,磁场的设计是各家技术的重点,国际几个有名的溅射靶制造商,对靶磁场的设计相当,改变磁场设计能得到不相同的等离子体蒸发量.电子的路径,等离子体的分布.关于阴极弧(也就是离子镀),磁控溅射,以及坩埚蒸发都属于PVD(物理气相沉积),坩埚蒸发主要是相变,蒸发靶材只有几个电子伏特的能量。
PACVD硬质涂层真空镀膜机系统的特点:
(1)2个等离子激发源(射频,直/直流脉冲)(2)安装在两边的2闭合场非平衡磁控管溅射(3)带有一个前门的六角形真空室,保证一个洁净的环境(4)干式真空系统设计安装在一个单独的空间,处理高吞吐量的碳氢化合物和其他工艺气体(5)基材和导电与非导电涂层及组合高效原位清洗的离子激发系统(6)可选择的等离子体激发模式和频率使等离子的密度和能量适应基材增压特性,以小压强进行电离作用(8)单独的PACVD工艺中不强制转动的时候,一种行星式转动也能够使溅射涂层统一沉积(9)特别是在PACVD过程特殊设计的进气系统能够优化涂层的均匀性和清洁度(10)泵的选择编排和上下的蒸汽压力调节,保证了涂层系统的高可靠性(11)iFIX基础的控制系统,易于批次、配方和报警处理(12)所有数据的采集,保证良好的过程控制。工艺过程中定制曲线图做到良好检查方案。在批次运行过程中,操作者也可更改或新建工艺(13)用户可自行设置进入控制系统的权限,以保证系统的质量和安全性
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