湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
在射频辉光放电空间中,高频电子震荡已能产生足够的工作气体电离,对二次电子发射的依耐性减少了。离子渗氮是在低真空含氮气氛中,利用模具(阴极)和阳极之间产生的辉光放电进行渗氮的工艺,与气体渗氮相比工作环
离子氮化炉

湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
在射频辉光放电空间中,高频电子震荡已能产生足够的工作气体电离,对二次电子发射的依耐性减少了。离子渗氮是在低真空含氮气氛中,利用模具(阴极)和阳极之间产生的辉光放电进行渗氮的工艺,与气体渗氮相比工作环境好。射频磁控溅射气体放电时等离子阻抗低,工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。
1992年,Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD, 主要的实验条件为湿度15% 、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻抗匹配。辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。他们认为“离子捕获”是实现APGD的关键。
2003年,自然科学基2金委2员会将“大气压辉光放电”列为重点研究项目。和普通化学热处理相同,根据渗入元素的不同,有离子渗碳、离子渗氮、离子碳氮共渗、离子渗硼、离子渗金属等等。APGD的研究也取得了一些进展,如He、Ne、Ar、Krypton惰性气体在大气压下基本实现了APGD,空气也已经实现了用眼睛看上去比较均匀的准“APGD”。
(作者: 来源:)