非接触式位移传感器目前主要有电容式、电磁式、激光式、远红外、微波、超声波式。位移传感器目前被广泛应用于多个行业，因为应用环境的不同，所以需要应用不同功能特性的位移传感器。美国UnionCarbide公司于1972年研制成功了Rθ方式的非球面创成加工机床。如测量米级的位移时就会用到短波长微波器件位移传感器，测量毫米级位移就会用到激光干涉法测量，而亚纳米级位移测量则会用到x射线衍射
纳米级位移测量技术应用
非接触式位移传感器目前主要有电容式、电磁式、激光式、远红外、微波、超声波式。位移传感器目前被广泛应用于多个行业，因为应用环境的不同，所以需要应用不同功能特性的位移传感器。美国UnionCarbide公司于1972年研制成功了Rθ方式的非球面创成加工机床。如测量米级的位移时就会用到短波长微波器件位移传感器，测量毫米级位移就会用到激光干涉法测量，而亚纳米级位移测量则会用到x射线衍射干涉法测量器件位移传感器产品。
光电所在纳米级测量系统方法研究中取得新进展
公司在2015年成为科技型中小企业，并设立了院士工作站，目前主要开发和经营以下3类产品和服务：旋转机械状态监测和健康管理、光电视觉及环保检测、几何量检测。相关技术打破国外垄断，技术水平达到国外同类产品的水平。
美国与技术研究院（NIST）的科学家们开发了一种新的装置，可以测量超微粒子的运动，这些超微粒子的运动距离小得不可想象，比氢原子的直径还小，或者说比一个人的头发丝的百万分之一还小。这种手持设备可以以前所未有的精度探测微小零部件的原子级运动，而且，研究人员还找到了这种高灵敏度测量工具的量产方法。Moore公司于1980年首先开发出了用3个坐标控制的M-18AG非球面加工机床，这种机床可加工直径为356mm的各种非球面金属反射镜。
测量大型物体的小运动是比较容易的，但是当移动部件的尺寸为纳米级时，难度就会加大。精准测量微观物体的微小位移的能力，可用于检测微量的危险生物或化学试剂，完善微型机器人的运动，精准部署气囊，以及检测通过薄膜传播的极弱声波。
善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。
光电式位移传感器ZLDS-N-100利用激光三角反射法进行测量，对被测物体材质没有任何要求，主要影响为环境光强和被测面是否平整。电容式传感器ZNX实际的基本包括了一个接收qiTx与一个发射qiRx，其分别都具有在印刷电路板(PCB)层上成形的金属走线。在接收qi与发射qi走线之间会形成一个电场。电容传感器却可以探测与传感器电极特性不同的导体和尽缘体。另外选择激光位移传感器时，要特别注意一点，各家厂商对参数的标注标准是不一样的。当有物体靠近时，电极的电场就会发生改变。从而感应出物体的位移变化量。
纳米测量技术是利用改制的扫描隧道显微镜进行微形貌测量，这个技术已成功的应用于石墨表面和生物样本的纳米级测量。
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