防止水蒸气对真空泵的污染
水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与真空泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使真空泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度降落。为此，防止水蒸气对真空泵的污染很重要。。
1、选用带有气镇装置的油封机械泵。
2、装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用。
3、运用吸水性强
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防止水蒸气对真空泵的污染
水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与真空泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使真空泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度降落。为此，防止水蒸气对真空泵的污染很重要。。
1、选用带有气镇装置的油封机械泵。
2、装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用。
3、运用吸水性强的单调剂。
4、运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。
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真空泵维修对零件更换的要求
真空泵维修过程中，零部件的精度及其质量对泵浦维修后的性能尤为重要，对此维修人员一定要对机械结构及其原理不是了解，同时注意其零件之间的精度及配合公差，因为不同的质量的配件及其型号规格精度都对泵浦组装后的性能产生重大的影响。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。旋片真空泵是利用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵。
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