随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
对于普通的无
磁控溅射工艺
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。
国内企业之间的兼并和收购对于收购方、被收购方以及整个行业都是有利的，可以减弱或者避免过于激烈的价格竞争，提高企业的盈利能力并且通过提高行业集中度改善行业结构。
介绍：我国真空设备行业对上下游企业进行并购重组，有利于企业取得原材料采购的优势和渠道建设的优势，从而实现竞争中的优势。上下游的并购需要更多的投入，因此主要是一些规模较大的企业在进行。
从射水泵来的具有一定压力的工作水经水室进入喷嘴，喷嘴将压力水的压力能转变为速度能，水流高速从喷嘴射出，使空气吸入室内产生高度真空，抽出凝汽器内的汽、气混合物，一起进入扩散管，水流速度减慢，压力逐渐升高，以略高于大气压力排出扩散管。在空气吸入室进口装有逆止门，可防止抽气器发生故障时，工作水被吸入凝汽器中。相比较原来常用的机械油泵，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。
（作者： 来源：）
