种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情
无菌洁净车间设计服务
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。

FFU循环系统的特点是:整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层,静压层相对于工艺层为负压。此外,还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。
云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装公司。

不产生:不在洁净车间产生任何灰尘。
遵循这个原则,洁净车间设计时,应注意如下几个方面:
1、 不采用易产尘、易吸附尘土的地面、四壁、天花板的装饰材料。
2、不使用容易产生灰尘的材料与设备。
3、 在许多的洁净车间内,人都是很大的污染源。严格洁净车间的管理,控制人员数量,避免不必要的移动,人员应穿洁净服。
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