表面粗糙度是表征光学元件表面质量的一个重要指标 ,这使得人们不断致力于改进表面粗糙度的测量技术 ,以提高其测量精度。然而很多实验表明 ,在对超光滑表面粗糙度进行测量时 ,对于同一个表面 ,不同类型的表面轮廓仪通常会给出不同的结果 ,这使得测量结果之间的可比性成为问题。针对这种情况 ,分析了表面轮廓仪的带宽对表面粗糙度测量的影响。
轮廓仪
表面粗糙度是表征光学元件表面质量的一个重要指标 ,这使得人们不断致力于改进表面粗糙度的测量技术 ,以提高其测量精度。然而很多实验表明 ,在对超光滑表面粗糙度进行测量时 ,对于同一个表面 ,不同类型的表面轮廓仪通常会给出不同的结果 ,这使得测量结果之间的可比性成为问题。针对这种情况 ,分析了表面轮廓仪的带宽对表面粗糙度测量的影响。
如何准备轮廓仪测量过程在将待测工件放到测试台上之前对其进行清洁，以防止工件上的机械残留物损坏精度和寿命。大型工件应小心处理，以免损坏仪器。必须固定小工件然后进行测量，否则会影响精度结果。在测量过程中转动镜头时要小心，请勿撞击被测工件。测量后测量结束后，维护尚未结束。确保清洁工作表面并保持工作台清洁。也请检查幻灯片，不要在幻灯片上留下任何碎屑或水渍。完成后，关闭电源并关闭电源。
非接触轮廓仪（光学轮廓仪）非接触轮廓仪（光学轮廓仪）是一种基于白光干涉原理的微形态测量仪器。它可以测量从超光滑到粗糙，低反射率到高反射率的各种表面。从纳米级到微米级的工件粗糙度，平面度，微几何轮廓，曲率等，基于ISO / ASME / EUR / GBT四个国内外标准，共有300多种2D， 3D参数作为评估标准。直线度、形状参数、槽深、槽宽、对数曲线、凹槽深度、凹槽宽度、凹槽曲率半径、凹槽余量、凹槽中心距离、轮廓、水平距离等。
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