超净间(Clean Room)，亦称为无尘室或无尘车间。「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。⑹无尘车间之建筑主体构造一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：A。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能
百级无尘室
超净间(Clean Room)，亦称为无尘室或无尘车间。「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。⑹无尘车间之建筑主体构造一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：A。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 超净间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间「超净间」。
高1效过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行，同时建议在无尘车间风量平衡及正负压调试以后进行，新建成的无尘车间或更换终端高1效过滤器后均应作检漏测试。
《洁净室施工及验收规范》（下简称规范）第 3.4.4条，有“经检查和检漏合格的应立即安装”，指现场检漏合格以后，再安装高1效过滤器，事实上很难具备这样的检漏条件。不可能做到，而根据规范附录六的要求是安装后进行高1效过滤器的扫描法检漏。
检漏时，从高1效过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在高1效过滤器的下风侧进行扫描检漏，以检漏高1效过滤器的过滤介质，密封胶过滤器框架，密封垫片等处有无泄漏。
这里暂不讨论无尘车间管道内及空调器内的高1效过滤器检漏，只对安装在无尘车间终端及相关净化设备内的高1效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。
无尘车间等速采样
在有速度的气流中采样，采样速度应等于气流速度，否则采样浓度将大于或小于真实浓度，即气流速度大于采样速度，采样浓度将大于真实浓度，反之，气流速度小于采样速度，采样浓度将小于真实浓度。
每个测点实际获得时间 Ts=Dp/Sr=1 s
所以，采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、K 值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。管道施工前，管道内部洁净处理十分重要，不能等到全部管道安装完毕在做洁净处理。特别需要指出的是，如采用 28.3 L/min 的粒子计数器和 2.83 L/min 的粒子计数器，他们的扫描速率可以相差十倍，也就是讲，每检测一个过滤器的时间也相差十倍。
洁净室无尘车间 规范要求扫描速率为 5 ～ 20mm/s ( 其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的，一般建议采用 28.3 L/min 的粒子计算器，扫描速率在 30 ～ 5mm/s 左右 )。
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