真空PVD镀膜基本步骤
1、前处理工艺:褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。
2、镀膜工艺:抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。
3、后处理工艺:清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量。抽真空:将真空室内的残余气体抽走。加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放。压升率测试:测试炉体的漏气率和
真空镀膜设备厂家

真空PVD镀膜基本步骤
1、前处理工艺:褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。
2、镀膜工艺:抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。
3、后处理工艺:清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量。抽真空:将真空室内的残余气体抽走。加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放。压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面。镀膜:沉积膜层。冷却:避免工件氧化变色。
真空镀膜机的全新发展真空泵与隔膜泵机械密封的安装与使用
真空镀膜机的发展相当迅速,随着生产率的提高,生产费用大大降低,已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。
以卷绕式真空镀膜机为例,刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm,目前已达2253mm。基材卷筒的大卷径是1000mm,大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式真空镀膜机镀膜时间占整个周期的75%,辅助操作时间只占25%。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用,卷绕式真空镀膜机正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。
真空镀膜机真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2,可以在这个范围内选择,有的还可以镀多层膜,满足多种需要。日本专利提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室,左下室和右下室。蒸镀时,两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。
真空镀膜机中电磁控制的发展
真空镀膜机在现在对产品的表面处理上具有的优势还是比较明显的,这种镀膜机械比起其他的表面处理设备来说,在加工方面,本身是需要在真空的环境中进行的,这样的镀膜方式就把外界的一些影响因素给“屏蔽”了,这是这种真空镀膜机的一个优势之处。
而对于真空镀膜机械来说,目前的电路的发展也十分迅速,很多电子化的产品也被运用到电路当中,也使得这些机械逐渐发展成为了电动化、自动化的设备。
其中溅控溅射镀膜机就是比较好的一类代表,作为一种装置来说,它也是体现出真空镀膜技术手段的代表,利用磁力进行控制,通电产生的电磁效用等都对镀膜技术进行辅助。
可以说是目前表面处理技术中值得关注的一类,而电磁控制的镀膜机械的产生对现在的镀膜设备来说,提高了镀膜时候膜层的粒子量,这是这种镀膜机械的主要运用了。
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