爱德华 E2M275 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵●E2M275 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36701935
●E2M275 208-230/460V, 3-ph, 60Hz A36703982
●E2M275 200/380V, 3-ph, 50/60Hz A36701934
●E2M275T3 400V,
爱德华真空泵维修费用
爱德华 E2M275 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵●E2M275 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36701935
●E2M275 208-230/460V, 3-ph, 60Hz A36703982
●E2M275 200/380V, 3-ph, 50/60Hz A36701934
●E2M275T3 400V, 3-ph, 50Hz A36718993
型號E1M175E2M175E1M275E2M275電壓vAC220 或 380V 三相真空度mbar7x10-21x10-39x10-21x10-3排氣速度m3/h214214350350消耗電力kw6.56.58.58.5重量kg194200220225
概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是技术设备的制造商所需要的。
订购信息
Edwards真空泵 EH4200 罗茨真空泵 爱德华罗茨泵 机械增压泵
EH4200 Industrial
●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000
●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000
EH4200 PFPE*
●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application
●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application
EH4200 Chemical**
●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982
●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935
●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900
半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。通过与各主要科学仪器制造商、大学院校和主要研究机构的通力合作，我们能够深入了解研究过程以及真空技术所发挥的作用。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。单相电机具有外部开关，可从高压范围(220-240V)调整为低压范围(110-120V)。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 可靠性。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。爱德华70#真空泵油应用：真空泵油适用
