什么叫万级无尘车间?
万级无尘车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),无尘车间与室外设有物品收支通道传递箱(passbox),当人员进入无尘室时,首先要通过风淋室,对人体所带的尘埃吹淋,削减人员带入无尘室的尘埃,传递箱则是对物品尘埃进行吹淋,到达落尘的作用。
无尘车
净化车间工程公司
什么叫万级无尘车间?
万级无尘车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),无尘车间与室外设有物品收支通道传递箱(passbox),当人员进入无尘室时,首先要通过风淋室,对人体所带的尘埃吹淋,削减人员带入无尘室的尘埃,传递箱则是对物品尘埃进行吹淋,到达落尘的作用。
无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。无尘车间一般采用泡沫彩钢或是岩棉板吊顶有立墙,有独立的空调送风系统,空气经过初中高效三级过滤,人员及物料配有风淋室及传递窗洁净过滤。

无尘车间在各行业中的温度标准
集成电路生产加工行业
在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,引起了0.24um线性膨胀,所以须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
(作者: 来源:)