在过滤器上风侧引入大于等于0.1μm（0.5μm）的粒子，粒子浓度大于3.5×107pc/m3的大气尘或其它气溶胶，在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面2～3cm处，以5～20mm/s速度移动，并应注意安装交接处的扫描。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。 3 评定标准，由受检过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成穿透率，对于高效过滤器，不应大于过滤器出厂合格穿透率的2倍，对于D级高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的3倍。 C3.4 污染泄漏测试。有孔洞相通的不同空气洁净度等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。用热球风速计检测等级高的洁净室至等级低的洁净室之间的风速，风速应大于0.2m/s。
风速、风量及换气次数 风速测试：A级区进行风速测试，检测频次：每个月一次。 风量及换气次数测试：A级区外的其它区域测量风量及换气次数。检测频次：至少每年一次。 A级区风速：层流系统在其工作区域必须均匀送风，风速为0.36-0.54m/s。 换气次数：B级洁净室换气次数n≥50次/h，C级洁净室换气次数n≥25次/h，D级洁净室换气次数n≥15次/h。 流型 检测区域：A级区，检测频次：至少每年一次标准：应为层流 检测频次：正常投产时每天一次。
（作者： 来源：）
